四探針測試儀 (手動(dòng)帶軟件） TZ24-RTS-8

四探針測試儀 (手動(dòng)帶軟件） TZ24-RTS-8

RTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設計、裝配。具有功能選擇直觀(guān)、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導體材料廠(chǎng)、半導體器件廠(chǎng)、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。RTS-8型四探針軟件測試系統是一個(gè)運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶(hù)程序，通過(guò)此測試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進(jìn)行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶(hù)對數據進(jìn)行各種數據分析技　術(shù)　指　標 ：

四探針測試儀 (手動(dòng)帶軟件） TZ24-RTS-8

測量范圍
電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)；
電導率：10-5～105 s/cm；
電阻：10-5～105 Ω；
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源
電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調
數字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數字顯示；極性、量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標
間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數
(見(jiàn)探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量大相對誤差
(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度
≤5%
測試模式
可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配）
軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數據，并統計分析測試數據大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進(jìn)行各種數據分析。軟件還可選擇自動(dòng)測量功能，根據樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口
并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時(shí)采集數據到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí)）。
標準使用環(huán)境
溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無(wú)高頻干擾；
無(wú)強光直射；